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产品简介:     

  压电式干涉物 镜驱动台通过柔性铰链机构对压电陶瓷输出的位移进行直接或放大驱动,行程可从10微米至200微米。它具有位移 大、纳米级控制精度、结构紧凑、体积小、频响高、便于物镜安装等特点。 

 

    压电式干 涉物镜驱动台

 

 

 

 

 

产品简介:     

  本产品应用在超精密金刚石车床中。通过压电陶瓷致动器  驱动一维纳米级精密定位工 作台MPT-1JNL001使得金刚石刀具产 生高频响、小范围、大刚度的快速精密进刀运动,并配合高精度的主轴回转和径向进给运动,来完成复杂面形光学零件的高效优质加工。并可根据不同的需要选择不同行程的工作台。
相对于慢刀伺服系 统其主要优势在于动态响应能力可达上千赫兹,能够大大的提高加工效率。

    快速刀具 伺服系统

 

 

 

 

产品简介:     

  本产品主要应 用于电化学加工方面,具有X-Y-Z方向三维宏动和 X-Y-Z方向三维微动。宏动平台采用步进电机结合高品质滚珠丝杆。微动平台由三台压电陶瓷致动器  驱动的一维纳米级精密定位工 作台MPT-1JRL003通过连接板组合而 成。
在驱动中,首先采 用步进电机驱动的大行程、低分辨率的机构进行粗定位,实现大行程范围内 快速地微米级定位精度,然后采用压电陶瓷驱动小行程、高分辨率的微动工作台在微米级行程范围实现对粗定位平台的纳米级误差补偿。   

电化学加工(宏微 二级驱动)工作台

 

 

 

产品简介:     

   本微动工作台采用 因瓦合金作为机体材料,使得微动工作台的热膨胀系数极低。该产品具有采用传统材料工作台性能的前提下,在外界环境的波动下其位移输出近似恒定。并可集成电阻应变片式传感器以实现高精度闭环控制。主要应用于精密光学 等在一定的环境温度要求下尺寸近似恒定的元器件中。

  低热膨胀二维 光学微动工作台

 

 

 

 

产品简介:     

  本产品是由压电陶瓷致动器  驱动柔性铰链机构可实现Z轴旋转输出,输出 转角为毫弧度级别,输出转角分辨率为微弧度级别。并可集成电阻应变片式传感器以实现高精度闭环控制。主要应用于光学、激光扫描、通信、光束偏转和光束偏摆。

    Z轴旋转微动平台

 

 

 

 

产品简介:     

  本产品是采用 特殊柔性铰链结构,由压电陶瓷驱动实现与X向45度夹角的运动,带 动位于运动平台上部的液晶屏,输出纳米级的运动分辨率,可以有效得提高照片曝光的分辨率,增大冲印照片的幅度,在数码冲印行业得到了广泛的应用。

     数码彩 扩工作台

 

 

 

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