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MPT-3P系列(三维并联式工作台   )

     
主要参数
型号 MPT-3JN/RL030
运动自由度 Z ,θx,θy
行程范围(μ m±20%) 30
转角范围(mrad±20%) 0.6,0.6
位移分辨率 (nm) 3
重复定位精度 (nm) -/30
运动方向上刚度 (N/μm±20%) 2
最大负载(Kg) 0.5
固有频率(Hz±20%) 500
工作温度范围 (℃) -20 ~ 80
模型下载 IGS

开环工作台推荐匹 配电源型号:HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹 配电源型号:PPC-2CR0150

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