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MPT-3J系列(三维集成式工作台   )

    
主要参数
  MPT-3JN/RL010 MPT-3JN/RL025 MPT-3JN/RL050
运动自由度 Z,θx,θy Z,θx,θy Z,θx,θy
转角范围(mrad±10%) ± 0.4 ± 0.8 ± 1.0
位移范围(μm±10%) 10 25 50
位移分辨率 (nm) 0.2 0.4 0.5
重复定位精度 (nm) -/2 -/4 -/5
角位移分辨率  (μrad) 0.4 0.8 1
角重复定位精度  (μrad) -/4 -/8 -/10
最大负载(Kg) 0.5 0.5 0.5
固有频率(Hz) 1000 1000 800
重量(g±5%) 250 400 550
工作电压(V) 0-150 0-150 0-150
工作温度范围 (℃) -20~80 -20~80 -20~80
外型尺寸 A(mm) 60 80 100
外型尺寸 B(mm) 52 52 52
外型尺寸 C(mm) 50 50 50
模型下载 IGS IGS IGS

开环工作台推荐匹 配电源型号:HPV-3C0150A0500 ;闭环工作台推荐匹 配电源型号:PPC-2CR0150

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