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MPT-1U系列(一维U式物镜台)

 

     
主要参数
  MPT-1UN/RL010 MPT-1UN/RL025 MPT-1UN/RL050 MPT-1UN/RL100
运动自由度 X X X X
行程范围( μ m±10%) 10 25 50 100
位移分辨率( nm) 1 2.5 5 10
重复定位精度( nm) -/10 -/25 -/50 -/100
最大负载( Kg) 1 1 1 1
静电容量( μ F±10%) 4 6 4 6
运动方向上刚度( N/μm 90 45 0.5 0.2
工作电压( V) 0~150 0~150 0~150 0~150
工作温度范围 (℃ ) -20 ~ 80 -20 ~ 80 -20 ~ 80 -20 ~ 80
外形尺寸A×B×C(mm) 30×45×45 48×45×45 30×45×45 30×60×45
模型下载 IGS IGS IGS IGS

开环工作台推荐匹 配电源型号:HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹 配电源型号:PPC-1CR0150

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