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MPT-1L系列(一维L式物镜台)

 

 

     
主要参数
  MPT-1LN/RL060 MPT-1LN/RL100 MPT-1LN/RL140
运动自由度 Z Z Z
行程范围( μ m±10%) 60 100 140
位移分辨率( nm) 6 10 14
重复定位精度( nm) -/60 -/100 -/140
最大负载( Kg) 1 1 1
静电电容( uF±10%) 90 120 140
运动方向上刚度( N/μm±20%) 0.2 0.2 0.2
工作电压( V) 0~150 0~150 0~150
工作温度范围 (℃ ) -20 ~ 80 -20 ~ 80 -20 ~ 80
外形尺寸A(mm) 33 43 51
模型下载 IGS IGS IGS
开环工作台推荐匹 配电源型号:HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹 配电源型号:PPC-1CR0150


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